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ウェーハ用QSSPCモード（QSSPC Mode for Wafers） — この試験方法は，厚さが1 mm以下のウェーハ試料に適している。このスタンダードで記述するように，QSSPCモードは，光励起中に取得したデータの分析によってライフタイムを求める場合に用いる。
3 This Standard is intended for through glass vias and blind vias in glass
For housings with removable filter cartridges
it focuses in its scope to a small set of requirements which are common to all FPUs
it is not suitable for acceptance testing of polished wafers since it cannot be performed on specimens with polished surfaces
E10500 - SEMI E105 - CIMフレームワークスケジューリングコンポーネントのための暫定仕様 Revision:SEMI E105-0701 - Inactive ウェーハ用QSSPCモード（QSSPC Mode for Wafers） —Global Information & Control CommitteeNorth American Information & Control Committee20012120014www. semi. org2001720009 WIP TATTAT CIM Referenced SEMI Standards SEMI E81 Provisional Specification for CIM Framework Domain Architecture SEMI E97 Provisional Specification for CIM Framework Global Declarations and Abstract Interfaces SEMI E102 Provisional Specification for CIM Framework Material Transport and Storage Component
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